芯片制造巨头英特尔(Intel)考虑为其1.4A制造技术采用正面与背面双面供电,原因是光刻过程中出现图形误差。据报道,该公司的光刻技术局限性源于其在1.4A节点上需要追赶中国台湾的台积电(TSMC)和三星电子(Samsung Electronics)的晶体管密度。通过其1.4A2工艺,该公司旨在与台积电的N2工艺和三星晶圆代工(Samsung Foundry)的SF2Z芯片制造工艺技术竞争。

更精细的电路尺寸迫使英特尔为其1.4A2制造工艺选择双面供电技术。在芯片制造中,供电通常通过背面进行,以减少电压降并提升性能。将供电线路布置在背面,即晶体管组装的区域(称为正面),便获得了额外空间,从而提高了晶体管密度和计算性能。
根据今天的报道,消息源自ET News,英特尔正考虑在其1.4芯片制造工艺技术中转向双面供电。这一转变将应用于该技术的V2版本,其驱动力来自芯片最小金属互连间距(M0)的尺寸。ET News认为,对于14A,其M0间距将为28纳米;而对于14A2,该间距将缩小至21纳米。
在半导体制造中,M0间距是两条通常负责在晶体管间传输信号的金属线中心之间的距离。更低的M0使得芯片内能够封装更多晶体管,而更先进的芯片制造技术一直依赖极紫外光刻(EUV)来制造这些电路。
据ET News的消息来源称,预计14A2制造工艺技术将带来英特尔标准的“半节点”增益,因此该公司将不得不依赖该工艺的双面供电技术。报道称,通过将1.4A2的M0降低至21纳米,英特尔旨在改善使用高数值孔径EUV(High NA EUV)光刻机的经济性,同时实现晶体管密度的提升。
然而,由于尺寸降低,该公司预计其原本为背面供电设计的硅通孔(TSV)将面临电压降问题,原因是互连线的电阻更高。因此,据报道,该公司正寻求在14A2工艺技术中依赖双面供电。
消息人士补充说,由于三星已经完善了其全环绕栅极(GAA)晶体管架构,因此在下一代技术的应用上遇到的麻烦较少。同样,台积电已在2025年和2026年稳定了其N2工艺技术系列的良率,并且到英特尔开始1.4A风险量产时,将已转向向市场出货1.4纳米产品。因此,英特尔时间紧迫,尤其是其目标是在2026年10月向客户交付14A0.9设计套件。



