埃隆·马斯克(Elon Musk)本周表示,芯片制造行业建造洁净室的方式是错误的。特斯拉和SpaceX的负责人承诺,一旦特斯拉建造出具备2纳米制程能力的晶圆厂,他就会在里面吃一个芝士汉堡并抽一支雪茄。

埃隆·马斯克在接受Moonshots采访时说:“我认为这些现代晶圆厂搞错了洁净室的方式。我要在这里打个赌,特斯拉将拥有一座2纳米晶圆厂,我可以在里面吃一个芝士汉堡并抽一支雪茄。”2026年1月6日在被问及马斯克是否在脑海中勾勒了特斯拉晶圆厂的草图,以及他是否找到了保护硅片免受芝士汉堡油污影响的方法时,他回答说,所有的晶圆应该始终处于完全密封的环境中。马斯克说:“它们(的设备)全程保持晶圆的隔离。”
现代的先进晶圆厂是一个大型的综合性制造设施,包含了用于晶圆加工的超净生产洁净室;安放真空泵、气体处理和排气系统的下层区域;用于维护和公共设施的专用设备服务走廊;集中的化学品输送和废物管理基础设施;以及用于行政管理、工程和监控的办公与控制区域。
与此同时,洁净室本质上是晶圆厂建筑内的建筑,因为它们与晶圆厂外壳的其他部分完全隔离。洁净室的清洁度由ISO等级标准规定,该标准定义了不同粒径下每立方米空气中的颗粒数量。例如,ISO 1级洁净室允许每立方米最多有10个≥0.1微米的颗粒和2个更大的颗粒;而ISO 2级洁净室允许每立方米最多有100个≥0.1微米的颗粒和38个更大的颗粒。最关键的操作——如极紫外光刻或深紫外光刻曝光、先进的栅极形成——都是在ISO 1级和2级环境中进行的。相比之下,ISO 3级洁净室允许每立方米最多有1000个≥0.1微米的颗粒,这仍然比典型的晶圆厂环境洁净得多,在先进晶圆厂中进行较不敏感的操作时常见。
自然,在ISO 1至3级环境中吸烟或吃汉堡是绝对不允许的,因为这会带来数亿乃至数十亿的颗粒。事实上,人的一次呼吸就会产生数百万个颗粒并带来湿气,更不用说带有细菌或病毒的有机污染了。因此,即使晶圆和设备的隔离是完美的,人的呼吸都会影响环境,这将影响到超敏感的极紫外光镜,甚至可能影响晶圆厂的化学环境。
由于污染控制和安全管理要求,在晶圆厂的其他区域进食和吸烟也是被禁止的。理论上,马斯克可以在办公区域吃汉堡和抽雪茄,这即使是今天也有可能做到。不过,大多数办公楼反正也禁止吸烟。
这并非埃隆·马斯克第一次炮轰代工行业。尽管他钦佩特斯拉的合作伙伴台积电和三星代工,但最近几个月,他一直批评代工行业晶圆厂建设速度慢、产能不足,这拖慢了马斯克旗下xAI人工智能项目的开发。马斯克曾提到,特斯拉未来可能建造自己的半导体生产设施,但考虑到此举极端复杂,这种事情不太可能发生。此外,从马斯克的评论来看,他似乎对现代先进半导体晶圆厂的运作方式没有专家级别的理解。



