作为全球最大的晶圆代工厂，台积电运营着数十座晶圆厂，其耗电量极为惊人——约占台湾总用电量的9%。为降低成本并实现可持续发展目标，该公司上月启动了极紫外光动态节能计划，旨在降低其极紫外光刻设备的能耗。
自2025年9月起，台积电已开始在15B、18A和18B晶圆厂逐步推行该计划，目前成效显著。公司计划在今年年底前完成全球所有极紫外光刻设备的全面部署，并将其作为所有新建晶圆厂（例如亚利桑那州21厂二期及后续项目）的基准要求。台积电预计，到2030年，该计划将累计节约1.9亿千瓦时电量，减少10.1万吨碳排放。
公司还探索将类似的动态节能控制机制应用于其他光刻设备（包括深紫外光扫描仪）以及光刻领域之外的其他模块。尽管未透露具体技术细节，但该计划适用于深紫外光系统及其他设备，说明其未利用极紫外光设备的独有特性。例如，可根据实时运行状态实施自适应功率调节：若晶圆未处于待处理队列，极紫外光设备可智能暂停或切换至低功耗状态，而非持续满负荷运转。此类方案需要洁净室内实时数据交换及工艺流程层面的优化（此为推测性分析）。
近年来，台积电持续提升其高耗能的极紫外光晶圆厂设备能效。2024年中期，公司宣布极紫外光刻系统功耗降低24%，但未披露具体技术细节。通过增强晶圆厂级自动化与先进控制系统，根据实时生产需求动态调整设备能耗，极紫外光设备峰值功耗降低44%，在保证产出、质量与良率的同时实现更高效运行。
尽管到2030年节约1.9亿千瓦时电量的目标看似显著（按每千瓦时3.78新台币计算可节省约2244万美元），但对台积电整体耗电量影响有限。据SemiVision数据，2024年该代工厂总耗电量达255.5亿千瓦时，其中219.4亿千瓦时来自不可再生能源，36.1亿千瓦时来自可再生能源。实际晶圆厂设备仅占总耗电量的46.1%，其余53.9%被各类辅助系统消耗。
