投资银行高盛(Goldman Sachs)认为,中国光刻机企业的技术水准至少落后美国同行20年。光刻是半导体制造的多个环节之一,也是目前制约中国制造高端芯片的唯一瓶颈。最先进的光刻机由荷兰公司阿斯麦(ASML)生产,由于这些设备依赖美国技术组件,美国政府能够限制其向中国销售。

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高盛指出,中国国产光刻设备目前仅能达到65纳米制程水平。中国科技巨头华为因与军方存在关联而被美国政府禁止从台积电(TSMC)采购芯片,因此不得不依赖中芯国际(SMIC)满足其芯片需求。而限制中芯国际采购极紫外(EUV)光刻机的额外制裁,意味着中国企业目前被限制在7纳米芯片的制造水平。

这些芯片很可能是通过阿斯麦较旧的深紫外(DUV)设备制造的,因为中国缺乏制造先进光刻扫描仪的能力——这些设备需要来自全球(主要来自美国和欧洲)的零部件。投资银行高盛的最新报告显示,中国本土光刻设备产业可能落后阿斯麦二十年。

光刻是芯片制造过程中的关键步骤之一,其作用是将芯片设计从光掩模转移到硅晶圆上。阿斯麦的EUV和High-NA EUV等高精度扫描仪能够在硅晶圆上转印更微小的电路图案,从而提升芯片性能。图案转印后经过蚀刻形成最终布局,在整个制造过程中还会沉积其他材料并对晶圆进行清洗。

因此,光刻技术在晶圆上精密电路复制的关键性,使其成为芯片制造过程的瓶颈。高盛在近期报告中认为,中国本土产业要追平阿斯麦当前一代芯片制造技术,至少需要20年时间。

目前,台积电等领先芯片制造商正在大规模生产3纳米芯片,并准备制造2纳米产品。高盛的报告强调:“阿斯麦花费了20年时间和400亿美元的研发支出及资本支出,才实现从65纳米到3纳米以下光刻技术的跨越。”鉴于中国国产光刻设备制造商目前仅处于65纳米水平,该行数据显示这些企业短期内赶上西方技术的可能性微乎其微。


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